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| 名稱 | 內(nèi)容 | |
| 測(cè)量范圍 | Z軸(垂直) | 160μm |
| X軸(水平) | 17.5mm | |
| 分辨率 | Z軸(垂直) | 0.01μm/±20μm |
| 0.02μm/±40μm | ||
| 0.04μm/±80μm | ||
| 測(cè)量項(xiàng)目 | 參數(shù) |
Ra Rz==Ry(JIS) Rq Rt==Rmax Rp Rv R3z R3y Rz(JIS) Rs Rsk Rku Rsm Rmr |
| 標(biāo)準(zhǔn) | ISO,ANSI,DIN,JIS | |
| 圖形 | 支承率曲線,粗糙度輪廓,直接輪廓 | |
| 濾波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P | |
| 取樣長度(lr) | 0.25,0.8,2.5mm | |
| 評(píng)定長度(ln) | Ln= lr×n n=1~5 | |
| 傳感器 | 測(cè)量原理 | 位移式差動(dòng)電感 |
| 觸針 | 天然金剛石,90錐角,5μm針尖半徑 | |
| 測(cè)力 | <4mN | |
| 導(dǎo)頭 | 硬質(zhì)合金,滑行方向半徑40mm | |
| 滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s | |
| lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | ||
| lr=2. 5, Vt=1mm/s | ||
| 返回 Vt=1mm/s | ||
| 示值誤差 | 不大于±10* | |
| 示值變動(dòng)性 | 不大于6* | |
| 電源 | 內(nèi)置鋰離子充電電池,用DC5V,800mA充電器充電 | |
| 外形尺寸 | 158x63.5x46mm | |
| 重量 | 約300g | |
| 工作環(huán)境 | 溫度:- 20℃ ~ 40℃濕度:< 90*RH | |
| 儲(chǔ)存運(yùn)輸環(huán)境 | 溫度:- 40℃ ~ 60℃濕度:< 90*RH | |
| 參 數(shù) | 顯 示 范 圍 |
| Ra,Rq | 0.005μm ~ 16μm |
| Rz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm | 0.02μm ~ 160μm |
| Sk | 0 ~ 100 |
| S,Sm | 1mm |
| tp | 0 ~ 100 |